GAS PURIFICATION · APPLICATION FINDER
先看氣體用途,
再選純化方式。
從半導體/微電子、GC 載氣、高流量供氣或儀器端純化開始,再依氣體、污染物、流量、壓力與接頭縮小範圍。
VICI MetronicsVICI ValcoTrajan CRS


START FROM THE APPLICATION
同樣叫氣體純化,
使用位置差很多。
半導體製程端與 GC 載氣不能只看純度數字。請一併核對氣體相容性、流量、壓力、接頭、材質與粒子要求。
FAMILY FINDER
從已知條件,
縮小系列。
品牌頁會帶入品牌篩選,但所有卡片都指向同一份產品資料,不會建立重複頁。
載入系列中…尚未套用條件
SEMICONDUCTOR SCOPE
半導體適用,
採嚴格標示。
只有原廠明確列出 microelectronics/semiconductor,或已由實際規格與案場確認的系列,才會標示「半導體適用」。一般 GC 載氣濾管即使位於晶圓廠內,也不直接等同製程特氣純化器。
NH₃、SiH₄、HCl、NF₃、WF₆ 等製程氣體必須另核對相容性、密封、粒子、壓力與安全規範,不以一般分析用純化器代替。
Hengrand · GAS PURIFICATION SUPPORT
把氣體、流量與接口交給我們
若已有現用料號,請再提供氣體種類、進口純度、目標污染物、流量、壓力及接頭,恆奕可協助核對替換與升級配置。